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　　申请号：201410241054.7

　　申请人：大连理工常州研究院有限公司

　　摘要：一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置，属于镀膜技术领域，该装置包括真空室上壁板和真空室下壁板，其特征在于：上电极板与真空室上壁板固定连接；至少两列热丝竖直分布，每列热丝上端与其对应的上电极板固定连接，每列热丝下端与其对应的下电极板固定连接；下电极板下端固定于热丝调力机构之上，热丝调力机构固定于真空室下壁板之上。该装置采用多阵列热丝竖直分布，可以双面大面积镀膜，减少热丝的成本，多列热丝的分布方式可以实现大面积镀膜试样的完整有效镀膜，且提高镀膜的效率，竖直分布的热丝结构保证了在不破坏热丝的情况下取出试样，进一步降低了热丝的成本，热丝下端的热丝调力机构可以张紧热丝并限制热丝摆动，实现均匀镀膜。

　　主权利要求：1.一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置，包括真空室上壁板(11)和真空室下壁板(12)，其特征在于：上电极板(2)与真空室上壁板(11)固定连接；至少两列热丝(7)竖直分布，每列热丝上端与其对应的上电极板(2)固定连接，每列热丝下端与其对应的下电极板(3)固定连接；下电极板(3)下端固定于热丝调力机构之上，热丝调力机构固定于真空室下壁板(11)之上。

　　2.根据权利要求1所述的一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置， 其特征在于：所述上电极板(2)通过固定支架(8)与真空室上壁板(11)固 定连接。

　　3.根据权利要求1所述的一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置， 其特征在于：所述每列的热丝(7)的分布为： 在上电极板与下电极板两端位置上，垂直于上电极板和下电极板，分别平 行等距排布4根热丝，在上电极板与下电极板中间位置上平行等距排布10-30 根热丝，且两端位置上的热丝之间的距离为中间位置上的热丝之间距离的一半。

　　4.根据权利要求1所述的一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置， 其特征在于：所述热丝调力机构包括保护钟罩(5)，所属保护钟罩下端固定于 真空室下壁板之上，保护钟罩上端设有限位通孔；热丝调力滑板(4)上端固定 于下电极板上，其下端依次穿过限位通孔和滚轴(10)。

　　5.根据权利要求4所述的一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置， 其特征在于：所述热丝调力滑板(4)上端固定于下电极板上，其下端依次穿过 限位通孔和滚轴(10)后，再与配重(6)连接。

　　6.根据权利要求4所述的一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置， 其特征在于：所述热丝调力滑板(4)上端固定于下电极板上，其下端依次穿过 限位通孔和滚轴(10)后，再与调力弹簧相连，调力弹簧另一端与真空室下壁 板(12)或保护钟罩(5)底壁相连。

　　7.根据权利要求4、5或6任一所述的一种垂直布局制备金刚石膜的多阵 列热丝装置，其特征在于：所述热丝调力滑板(4)为直线型滑板，滚轴(10) 固定安装于保护钟罩内部。

　　8.根据权利要求4、5或6任一所述的一种垂直布局制备金刚石膜的多阵 列热丝装置，其特征在于：所述热丝调力滑板(4)为弯折型滑板，滚轴(10) 固定安装于支撑柱(9)上，支撑柱固定于真空室下壁板之上。