申请人:大连理工大学
摘要:一种提高电化学法合成硬碳膜中金刚石含量的方法,属于先进材料制备的技术领域,涉及到液相电化学沉积类金刚石薄膜。其特征是在反应液中通入氧化剂臭氧气体,由臭氧分解的大量活性氧原子对伴生石墨相有强的刻蚀作用,从而提高薄膜中金刚石相的相对含量。本发明的效果和益处是:活性氧原子有效地抑制了石墨相的生长,使沉积薄膜中的金刚石相对量提高;通入臭氧气体对反应液其搅拌作用,可调节反应温度,提高沉积薄膜的均匀性。
独立权利要求:1.一种提高电化学法合成硬碳膜中金刚石含量的方法,是以甲醇或乙醇为反应溶液,加入去离子水,甲醇或乙醇的体积百分比为10-80%,甲醇或乙醇水溶液中加入0.1-30%甲酸或乙酸,活性氧化剂臭氧抑制伴生的石墨相,提高沉积薄膜中金刚石相的相对含量,通入的臭氧气体对反应液起到搅拌作用,调节反应液的温度,提高沉积薄膜的均匀性;其特征是在电化学反应的过程中连续不断地通入活性氧化剂臭氧,臭氧通入量为0-200mg/h。