申请人:太原理工大学
摘要:本发明公开了一种TiNi合金表面制备金刚石涂层的方法,属于TiNi合金表面沉积金刚石薄膜的方法,解决TiNi合金由于Ni含量较高无法生长金刚石的问题。包括以下步骤:利用双层辉光离子渗金属方法在TiNi合金表面渗钼,然后利用化学气相沉积方法进行金刚石薄膜沉积,使TiNi合金表面形成金刚石薄膜/渗钼层复合涂层。本发明将双层辉光离子渗金属技术和化学气相沉积镀技术有机结合,工艺重复性好,质量易控,操作简单,所制得的成品性能良好,金刚石薄膜能够与基体有良好的结合强度,并获得基体有效的支撑。
独立权利要求:1.一种TiNi合金表面制备金刚石涂层的方法,其特征在于,包括以下步骤:利用双层辉光离子渗金属方法在TiNi合金表面渗钼,然后利用化学气相沉积方法进行金刚石薄膜沉积,使TiNi合金表面形成金刚石薄膜/渗钼层复合涂层,即得成品。