制备用PVD法涂覆Al#-[2]O#-[3]的切削刀具的方法 _专利

制备用PVD法涂覆Al#-[2]O#-[3]的切削刀具的方法

关键词切削刀具|2010-12-22 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称制备用PVD法涂覆Al#-[2]O#-[3]的切削刀具的方法公开号1304458公开日2001.07.18主分类号

名称	制备用PVD法涂覆Al#-[2]O#-[3]的切削刀具的方法
公开号	1304458	公开日	2001.07.18
主分类号	C23C14/08	分类号	C23C14/08
申请号	00800790.X
分案原申请号		申请日	2000.05.03
颁证日		优先权	1999.5.6 SE 9901650－3
申请人	桑德维克公司	地址	瑞典桑德维肯
发明人	西格弗里德·席勒;克劳斯·格迪克;弗雷德·菲茨克;奥?	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	过晓东
摘要	本发明涉及一种制备由涂层和基体组成的涂覆切削刀具的方法，其中，用反应性磁控溅射法在运动的基体上于真空中沉积至少一层难熔的 γ—Al#-[2]O#-[3]微晶层，脉冲磁控溅射是在稀有气体和反应性气体的混合物中进行的，脉冲频率设定为10—100 kHz；沉积的速率相对于静态放置的基体至少为1nm／s；按时间平均的磁控靶功率密度设定为至少10 W／cm#+[2]；基体温度设定在400—700℃的范围内，这取决于要进行涂覆的工具本体的材料；而且撞击每个基体的粒子流循环性地中断。

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