高耐氧化纳米晶—非晶结构的超硬复合膜刀具及其沉积方法 _专利

高耐氧化纳米晶—非晶结构的超硬复合膜刀具及其沉积方法

关键词超硬复合膜 , 刀具 , 沉积方法 |2010-12-21 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称高耐氧化纳米晶—非晶结构的超硬复合膜刀具及其沉积方法公开号CN1654702公开日2005.08.17主分类号

名称	高耐氧化纳米晶—非晶结构的超硬复合膜刀具及其沉积方法
公开号	CN1654702	公开日	2005.08.17
主分类号	C23C14/06	分类号	C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35
申请号	200510018267.4
分案原申请号		申请日
颁证日		优先权
申请人	吴大维	地址	430071湖北省武汉市武昌区小洪山中区41号4楼7号
发明人	吴大维;吴越侠	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	武汉宇晨专利事务所	代理人	黄瑞棠
摘要	本发明公开了一种高耐氧化纳米晶—非晶结构的超硬复合膜刀具及其沉积方法，涉及新材料技术领域中的超硬复合膜刀具及其沉积方法，特别是涉及一种纳米晶—非晶结构超硬膜和复合氧化物膜。本刀具是在刀具8上的复合膜依次为起粘附作用的过渡层A、纳米晶—非晶结构nc-TiAlN/a-Si3N4超硬膜B、提高耐氧化性能的复合氧化物膜C、低摩擦系数的自润滑膜D。本方法是在真空室4中设置有外靶1、内靶2、离子源3。本发明提供了一种适合产业化生产实际的镀膜方法，具有生产效率高、涂层质量好、生产成本低的特点，对于各种类型的高速钢刀具、硬质合金刀具和陶瓷刀具，以及各种模具都有广泛的应用价值。

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