2023年12月22日,工业和信息化部发布了《重点新材料首批次应用示范指导目录(2024年版)》,切削刀具用超硬材料制品、超精密加工用超硬材料制品、超细金刚石线锯等3种超硬材料被列入重点新材料首批次应用示范指导目录,该目录自2024年1月1日起实施。
文字如下:
先进无机非金属材料——超硬材料
157、切削刀具用超硬材料制品
(1)聚晶金刚石复合片PCD:硬度≥HV4000,拱形度≤0.1 mm,厚度公差≤±0.1 mm;
(2)聚晶PCBN刀片:硬度≥3200 HV,抗冲击韧性≥25 J,抗弯强度≥500 MPa。
158、超精密加工用超硬材料制品
(1)减薄砂轮:硬度偏差≤8%;动平衡精度≤0.2 g;晶圆加工精度:TTV≤3 μm;
(2)倒边轮:多槽到基准面距离公差均≤0.05 mm,槽开口夹角≤1°;槽底圆弧≤0.02 mm;工件崩口≤30 μm
(3)研磨液/抛光液:抛光效率≥0.8 μm/h;表面粗糙度≤0.2 nm;
(4)陶瓷吸盘/载盘:平行度≤50 μm,平面度≤50 μm;
(5)半导体封装用超薄切割砂轮:外径 D(25~125)±0.05 mm、厚度 T(0.048~2.0)±0.008 mm、内孔(6~40 mm)H7,平面度≤0.07 mm、同轴度≤0.01 mm、平行度≤0.01 mm。
(6)超精密加工用超硬材料制品:实现(70/80~20/30)目粒度范围的金刚石,按照在金属胎体材料中空间点阵预定位设计,精准布入率达95%以上;金刚石浓度达到60%;制备的金刚石刀头(工作齿)焊接抗弯强度≥700MPa,胎体洛氏硬度达到HRB90及以上。
159、超细金刚石线锯
(1)碳钢丝线锯:碳钢丝线锯直径小于48微米,断线率≤8%,外径误差≤5 μm,抗拉强度≥5200 MPa,自由圈经≥50 mm;
(2)钨丝线锯:钨丝线锯直径小于45微米,断线率≤8%,抗拉强度≥6000 Mpa,外径误差≤5 μm,自由圈经≥50 mm。