您好 欢迎来到超硬材料网  | 免费注册
远发信息:磨料磨具行业的一站式媒体平台磨料磨具行业的一站式媒体平台
手机资讯手机资讯
官方微信官方微信
郑州华晶金刚石股份有限公司

更有效的金刚石平坦化技术:避免机械性损伤,促进实用化

关键词 金刚石|2021-05-28 09:38:44|来源 材料世界网
摘要 钻石具有高电子迁移率、高热导率、和低介电常数等优异的电学性质,禁带宽度为5.47eV,是当前单质半导体材料中带隙最宽的材料,可望应用做为宽能隙半导体予以实用化。但金刚石硬度极高,而...

       钻石具有高电子迁移率、高热导率、和低介电常数等优异的电学性质,禁带宽度为5.47eV,是当前单质半导体材料中带隙最宽的材料,可望应用做为宽能隙半导体予以实用化。但金刚石硬度极高,而且化学性质稳定,因此其研磨或加工等处理都比较困难。
       一般金刚石表面的平坦化多采用铸铁盘的研削法,但铸铁盘研削是利用金刚石粒子的机械研磨,会让金刚石表面产生机械性损伤,造成装置特性劣化的问题。因此,业界对不会造成机械性损伤,且成本低、可大量生产的金刚石平坦化工艺有着迫切的开发需求。

微信截图_20210528093820.png

       近日,日本金泽大学与德国Diamondand CarbonApplications公司共同开发了一项可做为金刚石研磨替代技术,且不会造成机械性损伤的平坦化技术。在此次研究中,研究团队让平坦的镍基板与钻石基板互相接触,并予以退火处理,进而成功地将钻石突起的部分有效率地蚀刻。此外,研究团队在2月已先行发表一项不会产生机械性损伤的刻印技术(Imprint),是以碳固溶于镍之钻石蚀刻为基轴,并将制作出的镍铸型应用于金刚石刻印的技术,并采用于这次的研究中。利用此次的研发成果,将可望促进金刚石晶圆研磨大面积化、低成本化、去除机械性损伤的实现,并进一步推动金刚石半导体的实用化。

 

① 凡本网注明"来源:超硬材料网"的所有作品,均为河南远发信息技术有限公司合法拥有版权或有权使用的作品,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明"来源:超硬材料网"。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。

② 凡本网注明"来源:XXX(非超硬材料网)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。

③ 如因作品内容、版权和其它问题需要同本网联系的,请在30日内进行。

※ 联系电话:0371-67667020

柘城惠丰钻石科技股份有限公司
河南联合精密材料股份有限公司