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官方微信摘要 名称以金属钛为界面层的非晶金刚石薄膜多层材料、制备方法及其用途公开号1227162公开日1999.09.01主分类号
| 名称 | 以金属钛为界面层的非晶金刚石薄膜多层材料、制备方法及其用途 | ||
| 公开号 | 1227162 | 公开日 | 1999.09.01 |
| 主分类号 | B32B9/00 | 分类号 | B32B9/00 |
| 申请号 | 98122070.3 | ||
| 分案原申请号 | 申请日 | 1998.12.04 | |
| 颁证日 | 优先权 | ||
| 申请人 | 中国科学院上海冶金研究所 | 地址 | 200050上海市长宁区长宁路865号 |
| 发明人 | 柳襄怀; 王曦; 茅东升; 郑志宏; 杨石奇; 李炜; 李琼; | 国际申请 | |
| 国际公布 | 进入国家日期 | ||
| 专利代理机构 | 上海华东专利事务所 | 代理人 | 邬震中; 高毓秋 |
| 摘要 | 本发明涉及一种以金属钛为界面层的非晶金刚石薄膜材料，是指在基体材料与非晶金刚石薄膜之间沉积一层金属钛而制备的多层材料。该材料或经热处理后，能使金属钛与非晶金刚石薄膜之间形成一层碳化钛过渡层，造成金属钛与非晶金刚石薄膜之间良好的接触，并降低了界面的势垒高度，同时使结合力得到增强，增加非晶金刚石薄膜的使用寿命，该多层材料可广泛地用作微电子及其平板显示器等新型功能器件的部件。 | ||
豫公网安备41019702003646号