| 名称 | 一种低温镀复金刚石薄膜的方法及设备 | ||
| 公开号 | 1138635 | 公开日 | 1996.12.25 |
| 主分类号 | C23C16/26 | 分类号 | C23C16/26 |
| 申请号 | 95111077.2 | ||
| 分案原申请号 | 申请日 | 1995.06.16 | |
| 颁证日 | 优先权 | ||
| 申请人 | 南京大学; 南京大学天地金钢石镀膜技术开发中心 | 地址 | 210093江苏省南京市汉口路22号 |
| 发明人 | 王志超 | 国际申请 | |
| 国际公布 | 进入国家日期 | ||
| 专利代理机构 | 南京大学专利事务所 | 代理人 | 黄嘉栋 |
| 摘要 | 一种镀复金刚石薄膜的方法和设备，它是应用高频等离子体化学汽相沉积法以一氧化碳和氮气为气源，在衬底表面镀覆金刚石薄膜。用本发明的方法可以在室温至５００℃温度下镀覆金刚石薄膜，因而在塑料、钢、铁等衬底表面都能镀覆金刚石薄膜。本发明的镀覆设备价廉易行，可适用于不同大小和形状的工件。 | ||
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