用巴基管作基底涂层的金刚石薄膜制造方法 _专利

用巴基管作基底涂层的金刚石薄膜制造方法

关键词巴基管 , 基底涂层 , 金刚石薄膜|2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称用巴基管作基底涂层的金刚石薄膜制造方法公开号1136088公开日1996.11.20主分类号C23C16/26&

名称	用巴基管作基底涂层的金刚石薄膜制造方法
公开号	1136088	公开日	1996.11.20
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26;C23C16/46;C23C16/02
申请号	96102608.1
分案原申请号		申请日	1996.02.09
颁证日		优先权
申请人	清华大学	地址	100084北京市海淀区清华园
发明人	高志栋; 梁吉; 魏秉庆; 曾效舒; 吴德海; 王克忠; 李玉	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	清华大学专利事务所	代理人	章瑞溥
摘要	一种金刚石薄膜的制造方法，属非金属元素的制备领域。本方法是在基底上涂刷混合于苯、酚、醇等有机溶剂中的巴基管溶液，干燥后将基底放入真空室内，充入碳氢化合物气体(CH#-[4]或C#-[2]H#-[2]）与H#-[2]的混合气体，加热混合气体及基底，使碳沉积在基底上，合成金刚石薄膜。用本发明方法制造金刚石薄膜生长速度快、质量高。

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