手机资讯
官方微信摘要 名称制备类金刚石复合振膜的方法公开号1093213公开日1994.10.05主分类号H04R31/00
| 名称 | 制备类金刚石复合振膜的方法 | ||
| 公开号 | 1093213 | 公开日 | 1994.10.05 |
| 主分类号 | H04R31/00 | 分类号 | H04R31/00;C23C14/22 |
| 申请号 | 93103925.8 | ||
| 分案原申请号 | 申请日 | 1993.04.01 | |
| 颁证日 | 优先权 | ||
| 申请人 | 中国建筑材料科学研究院 | 地址 | 100024北京市朝阳区管庄 |
| 发明人 | 张保军; 孙滨如 | 国际申请 | |
| 国际公布 | 进入国家日期 | ||
| 专利代理机构 | 中国科学院专利事务所 | 代理人 | 刘文意 |
| 摘要 | 本发明涉及一种制备沉积有类金刚石膜层的复合声学振膜的方法。其特征在于将被沉积金属基体置于环形夹具中，并在真空室中作为负放电电极。运用含碳气体的直流辉光放电法进行类金刚石膜的沉积，它可在平板形，球冠形或其它复杂形状的多种基体材料表面进行单面或两面同时沉积出类金刚石膜形成复合振膜。因此，它可以平衡应力，提高复合膜的整体刚性，消除应力变形，提高沉积效率，改善了声器件的频响曲线。 | ||
豫公网安备41010202002335号