采用金刚石涂层的模制场致发射电子发射极及其制造方法 _专利

采用金刚石涂层的模制场致发射电子发射极及其制造方法

关键词金刚石涂层 , 发射电子 , 制造|2010-12-09 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称采用金刚石涂层的模制场致发射电子发射极及其制造方法公开号1069827公开日1993.03.10主分类号H0

名称	采用金刚石涂层的模制场致发射电子发射极及其制造方法
公开号	1069827	公开日	1993.03.10
主分类号	H01J1/30	分类号	H01J1/30;H01J9/02
申请号	92105475.0
分案原申请号		申请日	1992.07.06
颁证日		优先权	[32]1991.8.20[33]US[31]07/747,562
申请人	莫托罗拉公司	地址	美国伊利诺斯
发明人	罗伯特·C·凯恩; 詹姆斯·E·贾斯基	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	中国国际贸易促进委员会专利代理部	代理人	邹光新
摘要	置于导电／半导电材料层（４０７）表面的利用金刚石材料涂层（４０６）的场致发射电子发射极由包括以下步骤的方法构成：在经选择成型的衬底（４０１）的表面注入碳离子（４０４），对形成金刚石晶体来说起集结区的作用。在金刚石（４０６）上淀积导电层（４０７），并去除衬底（４０１），留下具有金刚石涂层的电子发射极。

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