锗硅红外光学镜头镀类金刚石碳膜 _专利

锗硅红外光学镜头镀类金刚石碳膜

关键词锗硅 , 红外光学 , 金刚石碳膜 |2010-12-09 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称锗硅红外光学镜头镀类金刚石碳膜公开号1033653公开日1989.07.05主分类号C23C14/06

名称	锗硅红外光学镜头镀类金刚石碳膜
公开号	1033653	公开日	1989.07.05
主分类号	C23C14/06	分类号	C23C14/06;C23C14/40;G02B1/10
申请号	87105946.0
分案原申请号		申请日	1987.12.22
颁证日		优先权
申请人	昆明物理研究所	地址	云南省昆明市北郊教场东路32号
发明人	李忠奇; 刘成赞; 李正芬; 左名光; 金惠忠	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	云南省专利事务所	代理人	李灿
摘要	本工艺发明属于在锗硅光学镜头（片）上镀红外超硬膜技术。是在溅射机中，充入丁烷和氩气的混合气体，选择适当的射频电压产生辉光放电，使混合气体电离，在电场作用下，使正离子撞击到负电极上沉积薄膜的方法，从而使锗硅镜头（片）上获得类金刚石超硬膜。$本发明所镀制出的膜属类金刚石碳膜，它具有机械强度高，耐磨性能好，红外光学特性优良，且适于镀制大面积光学透镜等优点。适用于一切红外光学镜头（片）及光学仪器窗口材料的镀制。

① 凡本网注明"来源：超硬材料网"的所有作品，均为河南远发信息技术有限公司合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明"来源：超硬材料网"。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。

② 凡本网注明"来源：XXX（非超硬材料网）"的作品，均转载自其它媒体，转载目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。

③ 如因作品内容、版权和其它问题需要同本网联系的，请在30日内进行。

※ 联系电话：0371-67667020