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　　申请号：201611242132.0
　　申请人：厦门佳品金刚石工业有限公司
　　发明人：陈铨祥

　　摘要： 本发明公开本发明涉及一种抛光垫修整器的制造方法和制造设备，该制造方法包括以下步骤：(1)将陶瓷粉等静压烧结制成组织均匀致密的陶瓷锭；(2)将陶瓷锭顶部研磨形成具有等高尖角的正四棱锥阵列；(3)将磨好的陶瓷锭尖端表面涂覆金刚石膜，即得到抛光垫修整器。该制造设备包括等静压烧结装置、数控平面磨床和涂膜装置，所述数控平面磨床采用V型砂轮，所述数控平面磨床设置有用于修整V型砂轮的在线自动修整机构。本发明通过研磨组织均匀致密的陶瓷锭，形成稳定的具有等高尖角的三维结构化表面，可有效解决因模具直接压制的三维结构化表面尖部组织松散的问题，避免在使用中导致尖部容易破裂而使晶圆刮伤。 　　主权利要求：1.一种抛光垫修整器的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将陶瓷粉等静压烧结制成组织均匀致密的陶瓷锭；(2)将陶瓷锭顶部研磨形成具有等高尖角的正四棱锥阵列；(3)将磨好的陶瓷锭尖端表面涂覆金刚石膜，即得到抛光垫修整器。
　　2.根据权利要求1所述的抛光垫修整器的制造方法，其特征在于：步骤(2)中的研磨的方法包括以下步骤：(2.1)使用V型砂轮对陶瓷锭顶部的表面进行第一方向研磨，形成多条第一方向V型沟槽；其中，任意相邻的两条第一方向V型沟槽的相邻斜面相交于陶瓷锭顶部的表面之下，形成等高的尖顶；(2.2)使用V型砂轮对陶瓷锭顶部的表面进行垂直于第一方向的第二方向研磨，形成多条第二方向V型沟槽；其中，任意相邻的两条第二方向V型沟槽的相邻斜面相交于尖顶，形成等高的尖角；垂直交错的第一方向V型沟槽和第二方向V型沟槽将陶瓷锭顶部分隔形成具有等高尖角的正四棱锥阵列。
　　3.根据权利要求2所述的抛光垫修整器的制造方法，其特征在于：步骤(2.1)和步骤(2.2)中的V型砂轮研磨时的槽宽大于槽距，设槽宽为W、研磨深度为D、槽距为P、砂轮夹角为θ，因且W＞P，则
　　4.根据权利要求2所述的抛光垫修整器的制造方法，其特征在于：步骤(2.1)和步骤(2.2)中的V型砂轮在研磨时自动加深加工量，以补偿V型砂轮在研磨中磨损导致的尺寸变化，保证尖角等高。
　　5.根据权利要求1所述的抛光垫修整器的制造方法，其特征在于：步骤(1)中的陶瓷粉为氮化硅粉、碳化硅粉或碳化钨粉。
　　6.根据权利要求1所述的抛光垫修整器的制造方法，其特征在于：步骤(3)中的金刚石膜的厚度为3-20微米。
　　7.根据权利要求1所述的抛光垫修整器的制造方法，其特征在于：步骤(3)用化学气相沉积法涂覆金刚石膜。
　　8.一种抛光垫修整器的制造设备，其特征在于，包括：一等静压烧结装置，用于将陶瓷粉等静压烧结制成组织均匀致密的陶瓷锭；一数控平面磨床，用于将陶瓷锭顶部研磨形成具有等高尖角的正四棱锥阵列；以及一涂膜装置，用于将磨好的陶瓷锭尖端表面涂覆金刚石膜；其中，所述数控平面磨床采用V型砂轮对陶瓷锭进行研磨，所述数控平面磨床设置有用于修整V型砂轮的在线自动修整机构。
　　9.根据权利要求8所述的抛光垫修整器的制造设备，其特征在于：所述在线自动修整机构包括一修整座和两个金刚石磨块，两个金刚石磨块对称固定在修整座的上部，两个金刚石磨块的工作面分别设置有一金刚石磨料层，两个金刚石磨料层之间形成V型夹角。
　　10.根据权利要求9所述的抛光垫修整器的制造设备，其特征在于：所述数控平面磨床的工作台上设置有电磁吸盘，所述修整座安装在电磁吸盘的后部，所述电磁吸盘的上方吸附有用于固定放置陶瓷锭的磁性平板。