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　　申请号：201410240868.9

　　申请人：大连理工常州研究院有限公司

　　摘要：一种双开门立式制备金刚石膜的设备，属于镀膜技术领域，特别涉及一种制备金刚石膜的设备，该设备包括电源及控制系统、真空系统、供气系统及沉积系统，其特征在于：所述沉积系统上连接有真空系统和供气系统，所述沉积系统包括左腔室、右腔室、中部腔室和热丝调力机构，所述中部腔室固定安装于真空系统之上，左腔室和右腔室分别转动安装于中部腔室两侧，热丝竖直固定安装于中部腔室内部，热丝下端连接有热丝调力机构。本发明采用热丝竖直安装于中部腔室上，真空室采用双开门立式布局，待镀膜试样分别安装于两个真空室内壁，热丝下端安装热丝调力机构，实现高效、稳定、均匀的制备金刚石薄膜，该设备简单，生产效率高，生产成本低。

　　主权利要求：1.一种双开门立式制备金刚石膜的设备，包括电源及控制系统(1)、真空系统(7)、供气系统(6)及沉积系统(22)，其特征在于：所述沉积系统(22)上连接有真空系统(2)和供气系统(3)，所述沉积系统包括左腔室(41)、右腔室(42)、中部腔室(3)和热丝调力机构，所述中部腔室(3)固定安装于真空系统之上，左腔室(41)和右腔室(42)分别转动安装于中部腔室(3)两侧，热丝(14)竖直固定安装于中部腔室(3)内部，热丝(14)下端连接有热丝调力机构。

　　2.根据权利要求1所述的一种双开门立式制备金刚石膜的设备，其特征在 于：所述供气系统(6)通过气体管道(5)连接于沉积系统(22)的中部腔室 (3)之上。

　　3.根据权利要求1所述的一种双开门立式制备金刚石膜的设备，其特征在 于：所述中部腔室(3)包括真空室上壁板(81)和真空室下壁板(82)，固定 支架(15)固定安装于真空室上壁板(81)之上，上电极板(9)固定安装于固 定支架(15)上，热丝调力机构固定安装于真空室下壁板(82)之上，下电极 板(10)固定于热丝调力机构上端，热丝(14)两端分别固定于上电极板(9) 和下电极板(10)之上。

　　4.根据权利要求3所述的一种双开门立式制备金刚石膜的设备，其特征在 于：所述热丝调力机构采用保护钟罩(12)固定安装于真空室下壁板(82)之 上，滚轴(20)固定安装于保护钟罩(12)内部，保护钟罩上端设有限位通孔； 热丝调力滑板(11)上端与下电极板(10)连接，热丝调力滑板(11)下端依 次穿过保护钟罩(12)上的限位通孔和滚轴(20)。

　　5.根据权利要求4所述的一种双开门立式制备金刚石膜的设备，其特征在 于：所述热丝调力滑板(11)下端依次穿过保护钟罩(12)上的限位通孔和滚 轴(20)后，再与配重(13)相连。

　　6.根据权利要求4所述的一种双开门立式制备金刚石膜的设备，其特征在 于：所述热丝调力滑板(11)下端依次穿过保护钟罩(12)上的限位通孔和滚 轴(20)后，再与调力弹簧相连，调力弹簧另一端与真空室下壁板(82)或保 护钟罩(12)底壁相连。

　　7.根据权利要求1所述的一种双开门立式制备金刚石膜的设备，其特征在 于：所述左腔室(41)和/或右腔室(42)内部固定安装有试样固定机构(21)。

　　8.根据权利要求7所述的一种双开门立式制备金刚石膜的设备，其特征在 于：所述试样固定机构(21)采用侧部底座(17)固定安装于左腔室(41)和/ 或右腔室(42)内壁，固定盘(18)固定于侧部底座(17)上，固定管(19) 固定于固定盘(18)上。

　　9.根据权利要求1所述的一种双开门立式制备金刚石膜的设备，其特征在 于：左腔室(41)和右腔室(42)分别通过转动轴(2)转动安装于中部腔室(3) 两侧壁之上。