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　　申请号：201310474811

　　申请人：武汉工程大学

　　摘要：本发明属于微波等离子体化学气相沉积系统的领域，主要是涉及一种用于制备高质量大面积金刚石膜的微波等离子体化学气相沉积系统。本系统主要包括真空部分和微波导入部分，真空部分包括真空腔和真空腔上盖，真空腔上盖的中心侧表面形成不同特定尺寸的两个凹部，使得真空腔体为多模式腔体，在基片台上方形成由两个模式产生的大面积能量均匀的等离子体球；微波导入部分由下到上主要包括波导、石英环、模式转换天线，基片台与腔体的下部结合以夹持石英环从而保持真空，模式转换天线将微波导入至真空腔内，同时真空腔、模式转换天线以及带水冷的基片台由陶瓷环固定以保持严格的对中。

　　独立权利要求：1.一种大面积微波等离子体化学气相沉积系统，该系统包括：真空腔体、上盖、波导、模式转换天线、基片、基片台，其特征在于：所述的真空腔体下部具有导入微波的开口部和抽真空的抽气口，上部具有进气管道的接口；所述的上盖顶部和真空腔四周设有观察窗；上盖上设置有不同尺寸的凹部；微波通过夹持于基片台下方和真空腔体之间的石英环导入真空腔体内；所述的基片台与所述上盖水平平行，其上设置有水冷装置。

　　2.根据权利要求书1所述的大面积微波等离子体化学沉积系统，其特征在于：所述的真空腔为多模式腔体，由不锈钢等不易受高温发生变形的材料制成。

　　3.根据权利要求书1所述的大面积微波等离子体化学沉积系统，其特征在于：所述的基片为钨板、钼板或硅片。

　　4.根据权利要求书2所述的大面积微波等离子体化学沉积系统，其特征在于：所述的模式转换天线上端以喇叭口的形状与水冷基片台下端焊接，同时其与水冷基片台和真空腔体中心对中。

　　5.根据权利要求书4所述的大面积微波等离子体化学沉积系统，其特征在于：所述的真空腔体下部设有与真空腔体中心线对中的陶瓷环。