专利号：CN102226273A
申请人：南京航空航天大学
一种金刚石膜生长电极弹性张紧装置，包括底板和衬底工作台，其特征是所述热丝的两端固定在对应的左钼电极和右钼电极中，所述的左钼电极和右钼电极分别安装在对应的左弹性支架和右弹性支架的上端，所述的左弹性支架和右弹性支架的下端对称安装在衬底工作台两侧的底板上；所述的左弹性支架和右弹性支架的弹性系数k=（1~3）n*r2 ，其中r=0.1~1mm；左弹性支架和右弹性支架向内收缩后两端之间的距离L（mm）与热丝的工作长度L1（mm）之间应满足以下关系L1=5+1.05L。本发明电极结构简单，制造成本低，在金刚石生长过程中热丝始终保持平直状态，未出现热丝被拉断现象，衬底温度场的均匀性得到改善，沉积的CVD金刚石膜均匀性提高。
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