摘要 名称耐热冲击性高的高纯硅化碳化硅公开号1329583公开日2002.01.02主分类号C04B35/565 
名称 | 耐热冲击性高的高纯硅化碳化硅 | ||
公开号 | 1329583 | 公开日 | 2002.01.02 |
主分类号 | C04B35/565 | 分类号 | C04B35/565;H01L21/02 |
申请号 | 99814270.0 | ||
分案原申请号 | 申请日 | 1999.11.09 | |
颁证日 | 优先权 | 1998.12.11_US_09/210,635 | |
申请人 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 地址 | 美国马萨诸塞州 |
发明人 | D·多布特;A·赫尔勒 | 国际申请 | PCT/US99/26568 1999.11.9 |
国际公布 | WO00/34203 英 2000.6.15 | 进入国家日期 | 2001.06.08 |
专利代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 朱黎明 |
摘要 | 本发明是一种高强度、耐热冲击、高纯度硅化的碳化硅材料,它是由至少含71体积%碳化硅的转化石墨碳化硅体硅化而成的。 |