名称 | 高纯球形无定型硅微粉的制备 | ||
公开号 | 1188075 | 公开日 | 1998.07.22 |
主分类号 | C01B33/12 | 分类号 | C01B33/12 |
申请号 | 97109007.6 | ||
分案原申请号 | 申请日 | 1997.01.14 | |
颁证日 | 优先权 | ||
申请人 | 武汉大学 | 地址 | 430072湖北省武汉市珞珈山 |
发明人 | 袁良杰; 何治柯 | 国际申请 | |
国际公布 | 进入国家日期 | ||
专利代理机构 | 武汉大学专利事务所 | 代理人 | 康俊明 |
摘要 | 本发明公开了一种新的制备高纯球形无定型硅微粉的方法。该方法以水玻璃和无机酸为主要原料,通过控制溶剂、乳化剂与水玻璃的比例,乳化时的转速及添加剂用量等条件参数,制备放射性元素铀含量小于1ppb,常见离子含量均小于1ppm的球形硅微粉,平均粒径可在5~40μm之间调控,该产品可用作环氧树脂的填料,以制备大规模或超大规模集成电路器件的封装材料,还可用作制备其它高档电子器件的填料。 |