摘要 名称新颖的碳化硅仿真晶片公开号1147806公开日1997.04.16主分类号C04B35/573
名称 | 新颖的碳化硅仿真晶片 | ||
公开号 | 1147806 | 公开日 | 1997.04.16 |
主分类号 | C04B35/573 | 分类号 | C04B35/573;C30B31/10;C04B41/87;C04B38/00 |
申请号 | 96190134.9 | ||
分案原申请号 | 申请日 | 1996.02.28 | |
颁证日 | 优先权 | [32]1995.3.1[33]US[31]08/396,970 | |
申请人 | 圣戈本/诺顿工业搪瓷有限公司 | 地址 | 美国马萨诸塞州 |
发明人 | C·A·维勒肯斯; N·P·阿尔赛诺 | 国际申请 | PCT.US96/02880 96.2.28 |
国际公布 | WO96.26910 英 96.9.6 | 进入国家日期 | 1996.10.28 |
专利代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 林蕴和 |
摘要 | 本发明涉及一种基本上由重结晶碳化硅组成的未硅化处理或经硅化处理的晶片,晶片直径至少为150mm,厚度为0.5~2mm,晶片中含有15~43v/o的孔隙率或游离硅。 |