在金刚石对顶砧上集成金属电极的方法 _专利

在金刚石对顶砧上集成金属电极的方法

关键词金刚石 , 顶砧 , 金属电极|2010-12-16 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称在金刚石对顶砧上集成金属电极的方法公开号1396801公开日2003.02.12主分类号H05K3/06&nbs

名称	在金刚石对顶砧上集成金属电极的方法
公开号	1396801	公开日	2003.02.12
主分类号	H05K3/06	分类号	H05K3/06;C23C14/14;C23C14/34;G01N27/00
申请号	02132456.5
分案原申请号		申请日	2002.06.16
颁证日		优先权
申请人	吉林大学	地址	130012吉林省长春市朝阳区前卫路10号
发明人	韩永昊;高春晓;刘洪武;潘跃武	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	长春吉大专利代理有限责任公司	代理人	王恩远
摘要	本发明属在高压实验装置——金刚石对顶砧上集成金属电极的方法。经清洗 (1)、溅射电极材料(2)、涂胶(3)、光刻(4)、腐蚀金属(5)、去胶(6)以及引线工艺过程制得钨或铬或钛的金属电极。电极材料(2)厚度为1000～2500A，溅射电极材料过程中衬底温度保持在240～400℃。光刻(4)过程是保留需要集成电极部位的光刻胶(9)，而其余的地方光刻胶(9)被去掉。腐蚀金属(5)是指用光刻腐蚀剂去掉未被光刻胶(9)掩盖的电极材料。本发明能保证电极在砧面上有足够的附着力。电极厚度小，可消除由应力产生的电极崩裂现象。可避免高温对金刚石的损伤，延长使用寿命

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