真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜,从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导 磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能,达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。因此真空镀膜技术被誉为最具发展前途的重要技术之一 ,并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。这种新兴的真空镀膜技术已在国民经济各个领域得到应用,如航空、航天、电子、信息、机械、石油、化工、环保、军事等领域。
我研究所从上世纪80年代开始从事真空镀膜技术的研究开发,完成了大量科研项目,取得了一批科研成果,如:"阴极电弧镀技术制备TiN装饰膜、超硬膜及其应用"获中国有色金属工业总公司科技进步二等奖;"金刚石镀膜制备技术"获中国有色金属工业总公司科技进步二等奖;"金刚石涂层刀具研究"获国家有色工业局科技进步三等奖;"类金刚石镀膜制备技术及其应用"获中国有色金属工业总公司科技二等奖。
本研究所多年来形成了从阴极电弧镀、磁控溅射、等离子体增强化学气相沉积、热丝化学气相沉积、直流等离子体化学气相沉积等技术为代表的真空镀膜技术,可制备TiN、TiC、TiCN、TiAIN、DLC(类金刚石)、金刚石、透明Al2O3、Cu、Ag等多种金属及化合物涂层及其多层复合涂层,可广泛应用于工具、模具、耐磨、耐腐蚀及装饰等领域。