金刚石微粉抛光液的抛光性能试验报告
大连理工大学现代制造技术研究院
由我公司提供的6μm和3μm粒径的金刚石微粉抛光液试验,试验目标:蓝宝石(直径50mm)
用6μm粗抛:
光抛时间(h)
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表面粗糙度Ra(nm)
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材料去除量(μm)
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材料去除率(μm/h)
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抛光前
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215.484
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|
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0.5
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34.933
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0.942
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1.984
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1.0
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33.498
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0.267
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0.534
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1.5
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22.000
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0.331
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0.662
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可以看出最有效时间0.5小时,一般只要1小时即可达到粗抛结果。
粗抛与精抛结合:
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6μm抛光液
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3μm抛光液
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精抛(3μm抛光液)
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抛光时间(h)
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抛光前
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0.5
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1.0
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1.5
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2
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2.5
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6.0
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6.5
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7
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表面粗糙度Ra(nm)
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215.484
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17.169
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11.261
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7.309
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7.280
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5.680
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3.075
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2.790
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3.115
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注:1)粗抛极限时间为1.5小时。
2)总共抛光时间6小时,Ra从215.484nm下降至3.075nm。
3)3μm微粉抛光液的抛光极限精度是3nm,若想要达到更高的精度就需要使用粒度更小的金刚石微粉抛光液。