人造金刚石薄膜快速生长的方法 _专利

人造金刚石薄膜快速生长的方法

关键词人造金刚石薄膜 , 快速生长|2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称人造金刚石薄膜快速生长的方法公开号1106470公开日1995.08.09主分类号C23C16/26

名称	人造金刚石薄膜快速生长的方法
公开号	1106470	公开日	1995.08.09
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26;C23C16/50
申请号	94105416.0
分案原申请号		申请日	1994.07.15
颁证日		优先权
申请人	郑鲁生; 马元震; 朱纪伍	地址	250014山东省济南市55169部队一号信箱
发明人	郑鲁生; 马元震; 朱纪伍	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构		代理人
摘要	本发明涉及一种人造金刚石薄膜快速生长技术，系将金属材料钼、钛工件用金刚石微粉打磨其表面，然后在其上涂覆有催化剂与金刚石微粉混合在一起的涂覆料，将其放入微波等离子体合成金刚石薄膜机的真空反应区内，抽真空至真空度达Ｐａ#+[－１]后，先充入氢气，再通入甲烷气或碳氢化物，打开微波电源微波放电，在反应室内发生电离，碳氢化物或甲烷气分解，１小时后放入反应室的工件表面，热沉上１．５ｍｍ厚的人造金刚石薄膜。

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