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       申请号：201710222157.2
       申请人：大连理工大学
       发明人：张振宇 黄思玲 崔俊峰 康仁科 郭东明

       摘要： 本发明提供一种纳米深度损伤层机械化学磨削方法，属于超精密加工技术领域。以氧化锌为结合剂，添加剂为氧化铈、氧化镁、氧化硅、碳化硅，磨粒为金刚石，尺寸为500‑1000nm。金刚石磨粒的重量百分含量为40‑50％，结合剂的重量百分含量为20‑25％，添加剂的重量百分含量为25‑40％。将压制的方块进行高温烧结，烧结时间2h，在350‑400℃下形成气孔，680‑700℃下玻璃态成形。超精密磨削时，砂轮转速为2200‑2400rpm，砂轮进给速率为4‑20μm/min。超精密磨削后，亚表面损伤层厚度可以达到45‑100nm，为纳米深度损伤层。本发明实现了硅片和玻璃纳米深度损伤层高效超精密磨削方法。        主权利要求：1.一种纳米深度损伤层机械化学磨削方法，采用陶瓷基金刚石砂轮，在机械化学复合作用下实现纳米深度损伤层高效超精密磨削方法，其特征是：(1)工件为硅片或玻璃；(2)氧化锌为结合剂，添加剂为氧化铈、氧化镁、氧化硅或碳化硅；(3)磨粒为金刚石，尺寸为500-1000nm；(4)金刚石磨粒的重量百分含量为40-50％，结合剂的重量百分含量为20-25％，添加剂的重量百分含量为25-40％，将金刚石磨粒、结合剂和添加剂在室温下混合均匀，用等静压的方法在室温下压制成方块，压力为500-3000kg/cm2；(5)将压制的方块进行高温烧结，在350-400℃下形成气孔，680-700℃下玻璃态成形，烧结时间1.5-2h，烧结后形成密度为1.4-2.5g/cm3的陶瓷基陶瓷块；(6)陶瓷基陶瓷块均布粘接于铝合金沟槽中，形成陶瓷基金刚石砂轮；(7)将陶瓷基金刚石砂轮安装于超精密磨床上，用碳化硅磨粒在铸铁盘上对陶瓷基金刚石砂轮进行整形，然后进行超精密磨削，磨削液为去离子水；(8)超精密磨削时，陶瓷基金刚石砂轮的转速为2200-2400rpm，工件的转速为100-140rpm，陶瓷基金刚石砂轮的进给速率为4-20μm/min；(9)超精密磨削后，工件表面粗糙度Ra达到0.9-1.5nm，PV值8-20nm，亚表面损伤层厚度45-100nm，为纳米深度损伤层。