经历了数次疫情的洗礼,第六届国际碳材料大会暨产业展览会终于克服重重困难,于11月15日在深圳国际会展中心(宝安新馆)正式开幕,全国各地科研院所、企业、专家等云集深圳,坚持产学研结合,探讨新技术、新工艺、新市场,其中极端制造与超精密加工论坛于15日14:00-17:00成功举办。论坛由中国超硬材料网总经理石超主持。
▲ 中国超硬材料网总经理石超
本届极端制造与超精密加工论坛齐聚顶级产学研嘉宾,以“金刚石与激光结合应用技术、第三代半导体基片高效超精密抛光、复合材料加工技术、硬脆难加工材料、复合材料超高速磨削、微波CVD金刚石、聚焦离子束刻蚀”等为话题,举行多场高质量技术报告,来自全国各地的院士大咖、专家学者、企业代表分享研究成果,全方位、多层次深入探讨,不一样的热点,超前沿的话题!
下午两点论坛正式开始,首先做报告的是南方科技大学讲席教授、工学院副院长张璧教授,报告题目是《超高速磨削加工难加工材料表面完整性研究》。
南方科技大学讲席教授、工学院副院长张璧教授做《超高速磨削加工难加工材料表面完整性研究》报告
报告内容涉及理论分析、多尺度建模仿真、加工工艺、过程监控和材料表征等,使用超高速加工设备、高应变率霍普金森拉伸和压缩设备、扫描电子显微镜、透射电子显微镜等技术以及有限元方法和分子动力学等多尺度模拟仿真手段,探索材料加工中表面完整性的演化规律,为企业提供高效优质加工方案。
接下来是南方科技大学机械与能源工程系吴勇波教授带来的报告《光学非球面超声辅助直线刃单点金刚石切削技术研究》。
南方科技大学机械与能源工程系吴勇波教授做《光学非球面超声辅助直线刃单点金刚石切削技术研究》报告
报告中对于高性能光学非球面透镜/反射镜的高效精密加工制造,提出了超声辅助直线刃单点金刚石超精密切削新方法。在分析了所提方法相较于传统的金刚石磨削和圆弧刃单点金刚石切削优势的基础上,设计制作了超声切削装置,并搭载到超精密数控车床上构建了实验装置。针对适合于远红外探测的硒化锌材料和EUV光刻机光路系统反射镜不可或缺的微晶玻璃,进行了非球面超精密切削加工实验。一系列不同参数下的实验结果表明,在合适加工参数下,可获得表面粗糙度Ra10nm左右、面形精度约100nm的高表面质量高面形精度非球面,同时超声作用可大幅度减轻刀具磨损,验证了该新方法具备高效高精加工光学非球面的高度可行性。
第三场报告嘉宾是深圳优普莱等离子体技术有限公司研发董事长全峰,做题目为《基于MPCVD技术的金刚石涂层制备及其先端工业应用》的报告。
深圳优普莱全峰董事长做《基于MPCVD技术的金刚石涂层制备及其先端工业应用》的报告
报告中全总指出高品质的金刚石涂层在尖端精密机械,光学,生物医学,能源环境和半导体领域具有非常重要的应用。该技术长期掌握在欧美日少数公司手中,属于典型的“卡脖子”的高端材料。本报告围绕目前市场上的主流金刚石涂层制备技术展开,热丝CVD,谐振腔MPCVD,线性等离子体MPCVD。分析各种制备技术的优缺点。最后分析了金刚石涂层的各领域市场份额和趋势,为MPCVD的发展指明了方向。
论坛最后一场报告是由大连理工大学孙吉宁教授在线分享的《聚焦离子束刻蚀与跨尺度微纳制造》。
大连理工大学孙吉宁教授在线分享《聚焦离子束刻蚀与跨尺度微纳制造》
孙教授长期致力于微纳米制造、微纳功能表面、微纳传感器方面的前沿研究。成功研发了第一代可以用于大尺寸微纳加工制造的纳米级金刚石切割工具,孙教授掌握的超精密聚焦离子束三维刻蚀核心技术,打破了该领域几十年来的尺度极限,在超精密纳米加工中,解决了各种瓶颈问题,在孙教授看来,高精度与高效率是超精密加工永恒的主题,探索能兼顾效率和精度的加工方法,是他永恒的目标。每场报告大约25分钟,每场报告结束后,有问答环节。现场的各位业界专家们也积极与报告嘉宾互动,并对相关话题展开了讨论。
报告结束,主持人为每位报告嘉宾颁发证书,并合影留念!
根据会议安排,15日还同期举办了Workshop:激光遇见碳——金刚石与激光结合的应用探索,由浙江富研新型材料有限公司首席科学家兼技术总监宋建民教授主持,并做了专业的分享,之后相关企业及专家团队就十多个话题共同探索金刚石与激光结合的应用以及金刚石在光电器件领域应用。
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